碳基集成电路将用什么设备来加工?

 科技     |      2021-02-19 22:14
如果是碳基集成电路,那么已经可以规模化生产芯片了。可是目前碳纳米管芯片还处在实验室阶段。虽然美国已经做出了碳纳米管电路的芯片,但集成碳纳米管晶体管的数量有限。据说只有1.4万个。并不是规模化生产。
实验室用到的设备不一定是工业环境下的生产设备。譬如,当下激光光刻机已经可以“画”出5纳米,甚至2纳米的线宽。但并不适合在工业环境下生产芯片。

碳基集成电路将用什么设备来加工?
大家关心的AMSL光刻机是否需要,目前并没有权威人士提出彻底不需要。
碳纳米管与硅的不同之处是,碳纳米管材料必须在同一个方向上生长出排列紧密的碳管。这样才能做大规模碳基集成电路。这些排列紧密的碳管,是碳纳米管材料生长出来的,而不是用光刻机“画”出来。
但这也并不意味不需要光刻机。碳纳米管只是材料不是晶体管,还需要有源、漏、栅级和封装。怎么把这些东西“安装”好,也是一个问题。
总之,目前碳纳米管必须具备高密度,有序排列的碳管,而且纯度要高。这是做碳基集成电路的基础。
另外,必须强调的是,碳纳米管材料需要是半导体才可以做芯片。因此,碳原子结构的稳定性,也是决定规模化生产的必要因素。
  
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